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簡要描述:什么是電容傳感器?電容傳感器是一種通過測量兩個平行板之間線性位移來工作的裝置,其中一個板是傳感器本身,另一個板是傳感器所測量的物體——即目標物。
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什么是電容傳感器?
電容傳感器是一種通過測量兩個平行板之間線性位移來工作的裝置,其中一個板是傳感器本身,另一個板是傳感器所測量的物體——即目標物。
典型的電容傳感系統(tǒng)
- 電容探頭,也稱為“傳感器探頭",是一種金屬或陶瓷外殼,內(nèi)部裝有電容傳感器,用于檢測目標物體。
- 測量模塊,也稱為“測量電路板",包含傳感器的驅(qū)動電子元件,并提供傳感器的模擬輸出信號。
- 測量電路板輸出的模擬信號通常連接至客戶計算機中的A/D(模數(shù))轉(zhuǎn)換卡。
傳感器構(gòu)造
如果沒有屏蔽環(huán)(保護電極),電場線可能會延伸到傳感器之外,并與其他接地表面或電場發(fā)生相互作用。通過使屏蔽環(huán)的電場與傳感器同相驅(qū)動,傳感器便只能與所需的目標形成電場。
主動式與被動式電容傳感器
-被動式傳感器適用于大多數(shù)應用場合。其探頭內(nèi)部不含驅(qū)動電子元件,因而具有出色的穩(wěn)定性和線性度。
-主動式傳感器在探頭內(nèi)包含特殊的驅(qū)動電路,專為需要高分辨率和高測量帶寬的“高動態(tài)"應用而設計。
被動式電容探頭
主動式電容探頭
定制探頭
探頭可以通過多種方式進行定制
-根據(jù)客戶需求定制探頭尺寸或形狀
-帶斜面切割的探頭前端
-采用通孔式安裝而非夾持式安裝的探頭
-高穩(wěn)定性選項——可與4810型高穩(wěn)定性測量儀選件配套使用
特殊用途探頭
-陶瓷探頭適用于高穩(wěn)定性應用場合
-在被動式探頭設計中可使用因瓦合金(Invar)以提高熱穩(wěn)定性
-針對晶圓接地不良的應用場景,提供可“補償"的探頭選項
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